產品時間:2024-11-07
Aera流量計 氣體質量流量控制器FC-DR980C◆ 流量可覆蓋10sccm-30slm包含腐蝕性氣體(相對于N2)◆ 快速反應◆ 數字和模擬通訊控制模式,橡膠或金屬密封◆ 高可靠性和實用性
Aera流量計氣體質量流量控制器FC-DR980C FC-DR981C:
Aera創建于美國,是一家提供流體測量和控制產品及全套解決方案的跨國高科技企業,擁有研發及運營團隊,掌握行業*的流體測量及控制技術,專注于高科技工業領域的廣泛應用,包括半導體、新能源、 新材料,平板顯示、數據存儲、工業鍍膜、食品及化工分析等。Aera 的產品包高性能的氣體質量流量控制儀器及測量儀器,氣體工藝整體解決方案和服務支持方案。Aera始終致力于為客戶開發優化的解決方案及相關產品,客戶包括但不限于原始設備制造商(OEM)和終端用戶(END-USER)。
氣體質量流量控制器性能:
數字和模擬兩用型控制
快速的響應
高精度
高度的可靠性和穩定性
易于整合——標準連接器和尺寸
規格
FC-DR980C
Full Scale Range (N2 Eqv)
單氣體2-5000sccm
Control Valve Type 閥門類型
常開式或常閉式螺線管 (NC or NO)
Fitting
接頭
1/4"VCR or 1/4"Swagelok兼容
IGS 底部/表面貼裝(c或w密封)
Seals 密封
橡膠 Viton金屬
Response Time 響應時間
≤1Sec(超過滿量程10%)
Accuracy
精度
25%-100%:≤±1%S.P (滿量程25%到100%)
2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (滿量程2%到25%)
Linearity 線性度
≤ 滿量程的±0.5%
Repeatability 重復性
≤ 滿量程的±0.15%
Differential Pressure 壓差
7 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范圍
滿量程的2-100%
Max Operating Pressure 高操作壓力
70psi
Proof Pressure 承受壓力
Z大值140psi
Communication Type 通訊模式
模擬0-5V / RS485
Input Power
輸入功率
+15VDC ±2% at 100mA
-15VDC ±2% at 200mA
Command Signal 輸入模擬信號
模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>1MΩ)/數字信號 0-100%
Output Signal 輸出模擬信號
模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗>2KΩ)/數字信號 0-100%
Power Consumption 功耗
4.5W
Temperature Range 溫度范圍
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS,316SS,PTFE
Weight 重量
1.2kg